未来英才2017年第15期:等离子体化学气相沉积 薄膜制备进展

来源：百度文库 编辑：神马品牌网 时间：2024/04/28 13:24:35
想了解一下等离子体化学气相沉积设备在薄膜制备上面的发展历程，最好能有具体的例子，例如谁谁在什么时候利用等离子体化学气相沉积制备什么，从而使等离子体化学气相沉积得到了哪方面的发展？

可以看看一本叫做《化学简史》的书

等离子体化学气相沉积 薄膜制备进展 什么是气相沉积法 CBD化学水浴制备CdS薄膜怎样才均匀啊 请问CVD（化学气相沉积）的原理及应用？ 什么是气相沉积法，半征半导体，气相外延法 有谁能解释一下晶圆生产中CVD气相沉积工艺 液相色谱仪、制备液相色谱仪、色谱配套产品以及其他化学， 什么化学武气 谁有制备硅基多孔氧化铝薄膜/基板的经验啊? 需要制备色谱的基本知识，最新研究应用进展。越多越好！万分感谢