神马品牌网主持人卢汉有孩子吗:热游离的概念
来源：百度文库 编辑：神马品牌网 时间：2024/04/29 10:01:48
聚焦离子数的原理与扫描式电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）相似，主要之差别在於FIB使用离子束作为照射源，而离子束比电子具大电量及质量，当其照设置固态样品上时会造成一连串之状汲极能量传递，而在是片表面发生气化、离子化等现象而溅出中性原子、离子、电子及电磁波，当撞击传入试片较内部时亦会造成晶格破坏、原子混何等现象，最后入射离子可能植入试片内部。目前聚焦式离子束曝光系统在电阻胶上曝光的线宽可小到约10毫微米（参考Rau et al., N.（1998））。FIB的工作对象可以是电阻胶也可以是某些薄膜。这是因为有些薄膜在被离子撞击后，它对腐蚀（etch）的抵抗力或被氧化的速率会改变。利用这种特性，我们可以直接在这些薄膜上用FIB来写图案。例如在氧化矽的薄膜上打入氢离子、氘离子或氦离子可增加它的腐蚀率，如果在这薄膜上打入矽离子则将会提高它的氧化率。
同上